Angstrom Engineering真空镀膜控制系统（VCCS）集成蒸发源、溅射源、基片加热和膜厚监控的自动化管理。15英寸触控屏操作界面，支持多段镀膜工艺配方编程，记录全部工艺曲线。兼容石英晶体和光学膜厚监控信号，输出控制精度<1%，适配Angstrom全系列镀膜机。
| 参数 | 规格/描述 |
|---|---|
| 控制界面 | 15英寸触控屏 |
| 控制通道 | 蒸发源 / 溅射源 / 加热器 / 监控 |
| 配方存储 | 100+ 组镀膜工艺配方 |
| 数据记录 | 实时工艺曲线与历史数据导出 |
产品应用
- 多层光学薄膜全自动镀膜工艺控制
- 科研镀膜实验工艺参数精确调控与记录
- 批量生产中的工艺一致性管理
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联系方式
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