Angstrom Engineering AMOD全自动光学镀膜系统集成了蒸发源、溅射源、离子源和基片加热的自动化控制。支持多材料（金属/介质/氧化物）的精确沉积，膜厚控制精度<0.1nm。15英寸触控屏一键式配方操作，内置光学膜厚监控和石英晶体监控。适合24/7连续自动化镀膜生产。
| 参数 | 规格/描述 |
|---|---|
| 镀膜方式 | 蒸发 + 溅射 + 离子辅助 (三合一) |
| 膜厚控制精度 | <0.1 nm |
| 控制系统 | 15英寸触控屏 + 一键配方 |
| 监控 | 光学膜厚 + 石英晶体双监控 |
产品应用
- 全天候连续自动化光学镀膜生产
- 高品质分色镜和增透膜的批量制备
- 多层介质膜系高重复性工艺交付
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联系方式
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