Angstrom Engineering AMOD 系列高真空镀膜机专为材料研究和特种薄膜制备设计，集成电阻热蒸镀和电子枪蒸镀两种工艺。腔体尺寸60-120cm可选，极限真空<5×10⁻⁷ Torr，抽空时间<30分钟（大气至5×10⁻⁶ Torr）。标配多源旋转基片架（最高6个蒸发源），配置QCM膜厚监测和PID自动速率控制。适合制备金属电极薄膜、光学多层膜和有机电子器件薄膜，是高校实验室和材料研发中心的理想选择。
| 品牌 | Angstrom Engineering |
| 国家 | 加拿大 |
| 型号 | AMOD 600 |
| 镀膜技术 | 电阻热蒸镀 + 电子枪蒸镀 |
| 腔体尺寸 | 60cm / 80cm / 120cm |
| 极限真空 | < 5×10⁻⁷ Torr |
| 抽空时间 | < 30分钟 (到5×10⁻⁶ Torr) |
| 蒸发源 | 最高6个 (旋转切换) |
| 膜厚监测 | QCM + PID速率控制 |
| 基片架 | 旋转式 / 可加热 |
| 应用 | 金属膜 / 光学膜 / 有机电子 |
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