瑞士 Alesa 激光干涉仪是采用斐索式或泰曼-格林式激光干涉测量原理的高精度光学表面面形检测系统,属于 Alesa 光学干涉测量产品系列。该干涉仪配备 632.8nm HeNe 稳频激光源,通光口径 50-300mm 可选,面形测量重复精度 λ/20(PV)或 λ/200(RMS),横向分辨率优于 0.1mm。配套 Alesa 干涉条纹分析软件实现 Zernike 多项式拟合、面形 PV/RMS 参数自动计算和表面缺陷 3D 形貌彩色显示,测量报告一键导出 PDF 格式。该干涉仪适用于精密光学透镜和反射镜制造过程中抛光面形质量的中检和终检,以及光学窗口和精密棱镜面形平坦度的批量验收测量。
