Alesa SYRUS 系列全自动光学镀膜机采用双电子枪+射频离子源辅助沉积技术,支持最多72个镀膜层的高精度光学薄膜制备。基片最大尺寸达1200mm,膜厚均匀性优于±0.5%,镀膜速率控制精度0.01nm/s。系统配备QCM石英晶体监控和光学宽带实时监控双模式。专用于生产窄带滤光片、AR减反射膜、高反膜和DM二向色镜等精密光学薄膜器件。
| 品牌 | Alesa |
| 国家 | 瑞士 |
| 型号 | SYRUS 800D |
| 镀膜技术 | 双电子枪 + RF离子源 |
| 基片最大尺寸 | 1200mm |
| 膜厚均匀性 | ±0.5% |
| 速率精度 | 0.01nm/s |
| 监控方式 | QCM + 光学宽带实时监控 |
| 最大层数 | 72层 |
| 真空度 | ≤ 5×10⁻⁷ mbar |
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