瑞士 Alesa OMS-5000 光学宽带监控系统 实时膜厚监测 镀膜工艺

Alesa OMS-5000 光学宽带监控系统采用高速光谱仪结合卤素灯光源,覆盖350-1050nm全光谱范围,采样速率最高100Hz,膜厚分辨率优于0.01nm。系统配备专有OptiMon软件,支持极值法、包络法和全谱拟合多种监控模式。OMS-5000可实时显示膜层生长过程中的透射率和反射率曲线,支持终点自动判定和工艺回溯。是Alesa高端镀膜机实现精密复杂膜系生产的关键部件。

品牌 Alesa
国家 瑞士
型号 OMS-5000
光谱范围 350 ~ 1050nm
采样速率 最高 100Hz
膜厚分辨率 < 0.01nm
光源 卤素灯 / LED可选
监控模式 极值法 / 包络法 / 全谱拟合
软件 OptiMon 工艺软件
适用设备 SYRUS / SIRIUS

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