Alesa OMS-5000 光学宽带监控系统采用高速光谱仪结合卤素灯光源,覆盖350-1050nm全光谱范围,采样速率最高100Hz,膜厚分辨率优于0.01nm。系统配备专有OptiMon软件,支持极值法、包络法和全谱拟合多种监控模式。OMS-5000可实时显示膜层生长过程中的透射率和反射率曲线,支持终点自动判定和工艺回溯。是Alesa高端镀膜机实现精密复杂膜系生产的关键部件。
| 品牌 | Alesa |
| 国家 | 瑞士 |
| 型号 | OMS-5000 |
| 光谱范围 | 350 ~ 1050nm |
| 采样速率 | 最高 100Hz |
| 膜厚分辨率 | < 0.01nm |
| 光源 | 卤素灯 / LED可选 |
| 监控模式 | 极值法 / 包络法 / 全谱拟合 |
| 软件 | OptiMon 工艺软件 |
| 适用设备 | SYRUS / SIRIUS |
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