产品简介
CCS Prima 是 Acuity Laser 推出的白光共焦位移传感器,专为超高精度精密测量开发。可对各种材质的表面进行非接触式测量,包括透明和镜面材料。白光共焦技术不受材质限制。元锤OneHammer提供专业技术支持。
技术规格
| 品牌 | Acuity Laser |
| 产品类型 | 白光共焦位移传感器 |
| 测量范围 | 0.5mm ~ 25mm(依探头) |
| 线性度 | ±0.02% F.S. |
| 分辨率 | 0.01μm |
| 采样速率 | 最高 10kHz |
| 光斑直径 | 最小 4μm |
| 输出接口 | EtherCAT / RS-422 / USB |
| 适用材料 | 透明、镜面、高反射、粗糙面均可 |
| 工作温度 | 10°C ~ 40°C |
产品特点
- 白光共焦技术,可测特殊材质。Acuity Laser 的精密测量产品线覆盖广泛。
- 超高分辨率 0.01μm,满足纳米级精密测量需求。
- 最小光斑直径 4μm。元锤OneHammer可提供专业技术支持。
- 支持 EtherCAT 高速工业总线,实时数据传输。
- 温度漂移极小,长时间测量稳定性佳。
主要应用
- 晶圆表面形貌和厚度的非接触测量
- 精密光学镜片曲率半径和厚度检测
- 透明薄膜和涂层材料的厚度测量
- 半导体封装中的微距和共面度检测
- 精密微型轴承和齿轮的尺寸测量
更多信息
以上为 美国 Acuity Laser CCS Prima 白光共焦位移传感器精密测量应用 的主要技术参数与应用说明。Acuity Laser 全系列产品均可通过元锤OneHammer进行选型、采购和报价。
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