SSI Optics 精密反射镜系列
Spectrum Scientific, Inc.（SSI Optics）专注于高精度反射镜的制造，涵盖了平面反射镜、非球面反射镜和自由曲面反射镜等多种类型。其核心制造工艺——光学复制技术——能够在保证高精度的同时大幅降低批量生产的成本。
产品系列概览
SSI Optics 的反射镜产品广泛应用于半导体光刻设备、激光系统、科研光谱仪以及国防光学系统中。主要产品包括：
- 非球面反射镜 (Aspheric Mirrors) — 用于光束聚焦和准直，减少球差
- 自由曲面反射镜 (Freeform Mirrors) — 复杂光学系统设计首选
- 空心回射反射镜 (Hollow Retroreflectors) — 精密对准与干涉测量
- 平面反射镜 (Flat Mirrors) — 标准光学反射应用
技术参数表
| 参数 | 规格范围 |
|---|---|
| 表面精度 | λ/4 至 λ/20 @ 632.8nm |
| 反射率 (铝膜) | >90% (200nm – FIR)，85% (750-900nm) |
| 反射率 (金膜) | ~97% (700nm – 10μm) |
| 反射率 (银膜) | 优异性能 (450nm – 2μm) |
| 基底材料 | 熔融石英、BK7、Zerodur 等 |
| 镀膜选项 | 裸铝、MgF₂保护铝、SiO₂增强、金膜、银膜、DUV/VUV |
| 尺寸范围 | 根据客户需求定制，可达 300mm+ |
工艺优势
SSI Optics 采用的光学复制工艺具有以下独特优势：
- 高一致性：复制工艺保证批量产品之间的光学性能高度一致
- 低成本：无需逐个精密抛光，大幅降低制造成本
- 高精度：可达到与传统抛光相当的表面精度
- 设计灵活：支持复杂曲面和非旋转对称形状
典型应用
- 激光腔镜与光束导向系统
- 光谱仪照明与收集光路
- 天文观测望远镜系统
- 半导体检测设备光学模块
- 军事瞄准与红外成像系统
如需具体的反射镜选型建议和报价，请联系我们。
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